Micronic introducerar laserritaren LRS15000-TFT3 för volymproduktion av generation 7 gråtonsfotomasker

Täby, 1 december, 2004 - Micronic Laser Systems AB (Stockholmsbörsens Attract 40 lista: MICR), introducerade idag en ny laserritare för volymproduktion av avancerade TFT-LCD fotomasker. LRS15000-TFT3, det senaste tillskottet i Micronic väl beprövade LRS-serie, kombinerar hög upplösning med ett ritbord som klarar fotomasker upp till 1300 x 1500 mm för produktion av generation 7 TFT-LCD fotomasker. Systemets upplösning på 0,75 mikrometer är tillräcklig för att rita gråtonsfotomasker (GTM), en teknik som sparar process-steg i TFT-tillverkningen.

LRS15000-TFT3 är ett stort genombrott för eliminering av registreringsfel i stora fotomasker. Tilläggsfunktionen Z-korrektion korrigerar distortion som orsakats av planhetsvariationer i individuella masker, en av det största orsakerna till registreringsfel för fotomasker för TFT-LCD. Z-korrektion kompenserar automatiskt registeringsavvikelser som orsakats av avvikelser i planheten på baksidan av fotomasken och kontaminering under fotomasken. ”Z-korrektionsfunktionen utvecklades ursprungligen för Micronics mätsystem för fotomasker, MMS15000, för att göra det möjligt att mäta registrering oberoende av dessa vanliga felkällor,” säger Ulf Sundström, Sr.Vice President, Corporate Sales. ”Genom att införliva denna teknik i vår senaste TFT-LCD ritare, kan mönster rättas till innan de ritas, vilket resulterar i bättre fotomaskkvalité. Detta resulterar slutligen i bättre produktionsutbyte vid bildskärms- tillverkningen och högre bildskärmsprestanda.” Kontaktperson: Ulf Sundström Sr.Vice President, Corporate Sales Tel: 08-638 52 00 ulf.sundstrom@micronic.se

Om oss

Mycronic AB är ett högteknologiskt företag som utvecklar, tillverkar och marknadsför produktions­utrustning med höga krav på precision och flexibilitet till elektronikindustrin. Mycronics huvudkontor ligger i Täby utanför Stockholm och koncernen har dotterbolag i Frankrike, Japan, Kina, Nederländerna, Singapore, Storbritannien, Sydkorea, Taiwan, Tyskland och USA. Mycronic AB (publ) är noterat på NASDAQ Stockholm, Mid Cap: MYCR

Prenumerera

Dokument & länkar