스웨덴 Lund의 AlixLabs는 반도체 장치 제조를 위한 독점 패터닝 기술을 사용하여 벌크 실리콘에서 피치 분할(pitch splitting)

스웨덴 Lund의 AlixLabs는 반도체 장치 제조를 위한 독점 패터닝 기술을 사용하여 벌크 실리콘에서 피치 분할(pitch splitting)을 시연합니다. 이 회사는 반도체 제조 공정의 여러 단계를 제거하여 고도의 패킹으로 반도체 부품을 제조하는 새롭고 혁신적인 방법을 개발했습니다 - APS(Atomic Layer Etch Pitch Splitting)*. 이 방법은 구성 요소를 더 저렴하고 제조를 덜 자원 집약적으로 만들고 전자 제품의 보다 지속 가능한 대량 생산을 위한 새로운 길을 열 수 있습니다. 또한 이 방법을 사용하면 관리 가능한 웨이퍼 팹 장비 투자로 초소형 반도체 부품을 정확하고 효율적으로 제조할 수 있습니다.

벌크 실리콘에서 APS 시연을 위한 프로세스 흐름의 스냅샷(아래 그림 참조):

• 가로 세로 비율이 1:1일때 나타난 첫 번째 특징은 APS 이전에 제공되었으며 40nm(상단 너비)입니다.
• APS에 의해 생성된 두 번째 특징은 실리콘을 10nm 미만(상단 너비) 2개의 핀으로 분할하는 것입니다.
• 단결정 실리콘인 Si(100)의 손상은 관찰되지 않았습니다.
• AFM 데이터는 APS 후 더 낮은 표면 거칠기를 나타냅니다.

FIB(Focused Ion Beam Milling)에의해준비된벌크실리콘에서 APS 데모의투과전자현미경단면라멜라구조. 요소매핑으로요소구성표시를삽입.

이 방법은 미국, 대만, 유럽의 핵심 IP에 포함됩니다. AlixLabs의 공동 설립자이자 CTO인 Dr. Dmitry Suyatin은 “APS에서 나노 크기의 측벽은 Atomic Layer Etch Processes와 함께 토폴로지 마스크 역할을 하며 나노 구조의 분할을 시작하는 데 사용할 수 있다. 이전에 우리는 갈륨 인화물(GaP) 및 실리콘(Si)과 같은 서로 다른 물질에 대한 나노와이어 프로세스를 검증했으며 이제 10nm 미만의 크기를 가진 피쳐(feature)를 생성하여 벌크 실리콘에 대한 증거도 확보했다.”고 말했습니다.

CEO이자 공동 설립자인 Jonas Sundqvist 박사는 “APS 방식은 단일 노출 침수(immersion) / 극자외선(EUV) 리소그래피 / 자체 정렬 이중 및 4중 패터닝은 물론 다중 노출 리소그래피 식각 및 DSA와 같은 다중 패터닝 기술을 보완한다. APS는 웨이퍼 제조의 복잡성, 자본 지출 및 환경 발자국을 상당히 줄일 수 있다. 10nm 미만 구조를 생성하여 벌크 실리콘에서 피치 분할을 시연하는 것은 AlixLabs의 주요 이정표였다. 우리는 이 획기적인 기술을 웨이퍼 규모의 반도체 제조에 계속 도입할 것이며 이미 300mm 파일럿 팹으로 공정 이전을 시작했다.” 고 말했습니다.

* 원자층식각피치분할(APS). 이전에보고된바와같이(2021년 4월 30일) 미국특허청은 ALE Pitch Splitting(APS)에의한나노제조에대한 AlixLabs의특허출원을승인했습니다. 미국특허청은 2021년 2월 23일특허(US10930515)를, 최근 2022년 8월 23일두번째특허(US11424130)를등록했다. 대만과유럽에서도추가특허를확보했다. 특허 제품군 은 ALE(Atomic Layer Etching)를 사용 하여나노구조를단일공정단계에의해반으로분할하는방법을 다룹니다 . 이 방법은 전자 부품의 지속 가능한 확장을 가능하게 하고 중요한 칩 부품을비용효율적인방식으로더욱 축소함으로써반도체산업에상당한영향을미칠수있습니다 . 이방법은단일노출침수및극자외선(EUV) 리소그래피및자체정렬이중및사중패터닝(SADP 관련 SAQP)과같은해당다중패터닝기술과다중노출리소그래피에칭및방향성자가조립(DSA)을보완합니다. .

Jonas Sundqvist, AlixLabs CEO, 전화 +46 767 63 94 67, 이메일 jonas@alixlabs.com .

AlixLabs( www.alixlab.com )는 2019년 스웨덴 룬드에서 설립된 혁신적인 스타트업으로 반도체 산업이 ALE Pitch Splitting(APS)을 사용하여 비용 효율적인 방식으로 로직 및 메모리 구성 요소를 축소할 수 있도록 합니다.

Jonas Sundqvist, CEO of AlixLabs, phone +46 767 63 94 67, email jonas@alixlabs.com. 

AlixLabs (www.alixlab.com) is an innovative startup founded in 2019 in Lund, Sweden, enabling the semiconductor industry to scale down Logic and Memory components in a cost-effective manner by the use of ALE Pitch Splitting (APS).

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